真空度：表示真空狀態下的氣體稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示，近年國際上取用帕（Pa）作為單位，之前常用托（Torr）為單位，其中1托＝133.322帕。抽氣速率：單位m3/h或L/S，是指在一定的壓強和溫度下，單位時間內真空泵進氣口處抽走的氣體。其計算公式為：Sp＝Q/（P－P0），其中Q表示氣體量，P表示當前壓強，P0表示大氣壓強。抽氣量：單位是m3/s或l/s，指泵入口的氣體流量。極限真空：真空泵經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度為該泵的極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。何氏系數：真空泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子泄流計算的理論抽速之比。流導：表示真空管道通過氣體的能力，在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差，單位為L/s。標準大氣壓：是指在海平面高度上，氣溫為0°C時，大氣壓強約為101325帕斯卡（Pa），這個壓強值被稱為一個標準大氣壓。壓力或壓強：氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用Pa表示。前級壓強：指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。最大工作壓強：只對應最大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵。前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強地域其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級泵。粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。維持泵：在真空系統中，氣量很小時，不能有效利用前級泵。為此配備一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。
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